本書是國家科技02重大專項(xiàng)相關(guān)課題研究成果。在集成電路制造裝備中，靜電卡盤作為固定晶圓與控溫的核心部件，其靜電力的精確測量是確保工藝穩(wěn)定性和提高芯片良率的關(guān)鍵。本書圍繞靜電卡盤靜電力測量問題，系統(tǒng)構(gòu)建了涵蓋宏觀工程應(yīng)用和微觀機(jī)理探究的理論與方法體系，從測量原理創(chuàng)新、實(shí)驗(yàn)平臺研制、仿真方法驗(yàn)證、統(tǒng)一理論框架建立、參數(shù)敏感性分析、微納尺度測量技術(shù)運(yùn)用等方面開展了深入研究。全書融合理論建模、實(shí)驗(yàn)測量與數(shù)值仿真，為靜電卡盤的性能評估和優(yōu)化設(shè)計(jì)提供了重要科學(xué)依據(jù)，部分成果已應(yīng)用于實(shí)際產(chǎn)線，可供集成電路裝備及微納制造領(lǐng)域研發(fā)人員參考。
本書是國家科技02重大專項(xiàng)相關(guān)課題研究成果。在集成電路制造裝備中，靜電卡盤作為固定晶圓與控溫的核心部件，其靜電力的精確測量是確保工藝穩(wěn)定性和提高芯片良率的關(guān)鍵。本書圍繞靜電卡盤靜電力測量問題，系統(tǒng)構(gòu)建了涵蓋宏觀工程應(yīng)用和微觀機(jī)理探究的理論與方法體系，從測量原理創(chuàng)新、實(shí)驗(yàn)平臺研制、仿真方法驗(yàn)證、統(tǒng)一理論框架建立、參數(shù)敏感性分析、微納尺度測量技術(shù)運(yùn)用等方面開展了深入研究。全書融合理論建模、實(shí)驗(yàn)測量與數(shù)值仿真，為靜電卡盤的性能評估和優(yōu)化設(shè)計(jì)提供了重要科學(xué)依據(jù)，部分成果已應(yīng)用于實(shí)際產(chǎn)線，可供集成電路裝備及微納制造領(lǐng)域研發(fā)人員參考。
王珂晟，山東華宇工學(xué)院教授、高級工程師，碩士生導(dǎo)師。清華大學(xué)工學(xué)博士，英國倫敦布魯內(nèi)爾大學(xué)訪問學(xué)者。研究領(lǐng)域?yàn)榧呻娐分圃煅b備，擔(dān)任中國機(jī)械工程學(xué)會半導(dǎo)體裝備分會第一屆委員會委員。主持省部級以上項(xiàng)目兩項(xiàng)、市廳級項(xiàng)目三項(xiàng)，參與完成國家科技02重大專項(xiàng)等國家級項(xiàng)目四項(xiàng)。第一作者發(fā)表論文二十余篇，其中SCI收錄四篇。獲授權(quán)專利一百四十余項(xiàng)，其中發(fā)明專利六十余項(xiàng)。參與制定國家標(biāo)準(zhǔn)一部、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)兩部、地方標(biāo)準(zhǔn)一部。參編圖書三部，其中《第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)人才發(fā)展指南》入選十四五國家重點(diǎn)出版物，連續(xù)四年擔(dān)任工業(yè)和信息化部《中國集成電路產(chǎn)業(yè)人才白皮書》編撰人。獲省部級科技成果二等獎一項(xiàng)、市廳級科技成果一等獎兩項(xiàng)
緒論
第一章 基于牽引提拉法的靜電卡盤靜電力測量平臺
第二章 基于氣體背吹法的靜電卡盤靜電力測量平臺
第三章 斷電后的靜電卡盤殘余靜電力演變規(guī)律理論預(yù)測與實(shí)驗(yàn)測量
第四章 靜電卡盤主要參數(shù)對靜電力的影響
第五章 靜電卡盤靜電力仿真分析
第六章 基于AFM相位差分析的微觀靜電力測量
第七章 基于AFM振幅分析的微觀靜電力測量
第八章 結(jié)論與展望
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